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MX61A

  • 所属分类:半导体/FPD检查显微镜
  • 浏览次数:2075次
  • 发布日期:2016/1/29 10:08:51
  • 产品概述

MX61A大尺寸智能型全自动显微镜详细介绍:

始终提供观察影像的光学系统


强大的缺陷检查能力

采用了新颖的光学系统(UIS2),特别增强了明视场、暗视场的性能,从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温实现了容易误检的中性颜色的再现,暗视场图像的亮度约提高了四倍(与本公司原有产品比较)。

观察影像实例

明视场观察

新暗视场观察

传统的暗视场观察

自动调节亮度

亮度光圈调节示意图
物镜选择和观察方法切换连动,自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。

对应各种设备的实时AF

深紫外线观察用物镜
MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能好。新开发的多点方式的传感器的采用,大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中,实现了追踪观察位置的实时对焦。

对应多种观察方法

物镜UIS2系列产品
在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品,与各种观察单元组合,可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。
观察方法的切换非常简单,只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。

观察影像实例

明视场观察

暗视场观察

微分干涉观察

荧光观察

近红外线观察(左)和可见
光线观察(右)的比较

提供扩展性的解决方案
提供扩展性的解决方案

适应分析需求的Analysis-Engine(分
析引擎)模块
"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜,还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。一直以来,必需进行若干个操作才能实现的观察方法、深紫外线观察等的切换,只要点击就能顺利完成。该软件进一步拓展了MX61A的扩张性,满足了不断变化的分析需求。

显微镜控制软件 MX2-BSW

显微镜控制软件显示画面
显微镜控制软件MX2-BSW不仅能进行各种显微镜控制和AF,还能综合控制深紫外线观察单元和电动载物台*1等。对于数码照相机*2,能够控制它的观察和记录。观看实况影像时单击需观察的地方,快速移动到视场中心、实况计量和检测、影像记录等一系列作业就能容易的得以实现。
*1对应本公司推荐的电动载物台
*2对应奥林巴斯DP21或本公司推荐的IEEE1394数码照相机

实现对人和环境都没有危害的自动化

符合SEMI S2/S8标准

符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有关安全的基准),S8-0705(有关人体工程学的基准)和CE标识(欧洲强制性认证)等的国际标准。符合人体工程学和安全对策等,高水准的确保了牢靠性。

可选的倾斜观察筒

倾斜观察筒示意图
备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号,或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。

洁净对应的电动物镜转换器

洁净对应的电动物镜转换器
备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。
6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器,采用了新型马达,实现了高速安静的倍率转换。

高抗振本体

高倍率观察图像示意图
采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察,也不会出现影像模糊的情况。

可以触摸屏操作的手控开关

手控开关操作部
配备了触摸屏操作的手控开关,可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法,就能得到基于登录条件的最合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。

帮助实现多种观察的附件
晶圆搬送机组合

晶圆搬送机
可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用,实现了对90 μm极薄晶圆的搬送,能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。

自动载物台组合

自动载物台
备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制,可以实现检查、不良分析功能。


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